MEMS акселерометр, також відомий як акселерометр мікроелектромеханічної системи маленькі, високоточні датчики, які використовуються для вимірювання кутової швидкості та орієнтації. Вони зазвичай використовуються в різних програмах, включаючи смартфони, дрони та інші електронні пристрої.
Усі датчики акселерометра MEMS зазвичай вимірюють переміщення маси за допомогою схеми інтерфейсу вимірювання положення. Це вимірювання потім перетворюється на цифровий електричний сигнал через аналого-цифровий перетворювач (АЦП) для цифрової обробки.
Датчики MEMS – це мініатюрні пристрої, що використовуються для вимірювання фізичних величин, таких як тиск, температура, прискорення та магнітні поля.
Акселерометри вимірювати прискорення, що на практиці означає зміни швидкості або напрямку. Це може включати удари та вібрацію, різке збільшення або зниження швидкості, як-от різке прискорення або гальмування автомобіля, сили, які можуть вказувати на занадто швидкий поворот, або сильні удари.
мікроелектромеханічна система A MEMS (мікроелектромеханічна система) — це мініатюрна машина, яка має як механічні, так і електронні компоненти. Фізичні розміри MEMS можуть коливатися від кількох міліметрів до менш ніж одного мікрометра, розмір у багато разів менший за ширину людської волосини.&
Використання ємнісних акселерометрів MEMS для досягнення точності нахилу 0,1° у динамічних середовищах дуже складно—<1° важко, а >1° дуже досяжно. Для того, щоб акселерометр міг ефективно вимірювати нахил, потрібно добре розуміти продуктивність датчика та середовище кінцевого застосування.